东莞市朗骏智能装备有限公司
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深圳市星火思创科技有限公司
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青岛晨立成立于2009年,是专业的半导体工艺设备及先进材料专用设备设计、研发、制造厂家。 公司为客户提供先进材料热处理、高精度电加热设备及系统集成等全套解决方案。 产品广泛应用与半导体集成电路、分立器件、太阳能电池片、半导体照明LED、IGBT封装、金属外壳封装、非晶材料、石墨烯材料、先进材料、材料提纯行业及现代科学前沿电子电器、材料的研发领域。工艺含盖化合物半导体晶体生长、外延、薄膜淀积(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化扩散退火(含快速退火工艺)合金、真空共晶、连续烧结、材料提纯等工艺。覆盖一、二、三代半导体材料-硅、砷化镓、氮化镓。先进材料可在磁场,真空、不同压力、不同温度下实现热处理工艺。 主要产品:高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高精度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等,同时承接各种微电子生产线,进口半导体专用设备的翻新升级改造及大专院校科研院所的非标研发定制工作。 晨立公司拥有十几年的专业研发制造经验。自成立以来,坚持产品设计和服务质量共同发展,积极进取,精益求精,不断提高产品核心竞争力。





















